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国产高性能激光干涉仪(SJ6000)
发布时间:2023-05-26 13:42:20    浏览量:586次
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最大供货:100 件
型号:SJ6000
发货期限:7-10天内发货
详细信息
激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备,其主要在:线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断提高,测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛,特别是在测量数控机床位置精度方面用途广泛。

国产高性能激光干涉仪(SJ6000采用进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现多种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(约8分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出,采用不同的光学镜组可以测量出线性长度、角度、直线度、平行度、平面度以及垂直度等几何量,并且可以进行动态测量分析。

SJ6000激光干涉仪
SJ6000激光干涉仪


国产高性能激光干涉仪(SJ6000)性能特点:
精度高
      以激光干涉技术为核心,分辨力可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。
功能广
      具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、直线度和垂直度;并可以校准机床的回转轴。
      可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为机床误差修正提供依据。
      具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线) 及测量振幅和频率分析的功能,可进行振动分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析等。
      支持手动或自动进行环境补偿。
标准多
      内置国内外通用的标准,含国标(GB) 、ISO(国际) 、BS(英制) 、美标、DIN(德标) 、JIS(日标)共13份。可依据各种不同的测量标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
便携性
      使用方便:准直激光后,轻易实现设备线性定位、重复定位精度、反向间隙、角度、直线度的测量。
      携带方便:基本重量为18kg,简单便携。
记录管理方便,可定制
      测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理测量记录。可定制专属企业模板,增加企业商标。
      激光干涉仪测量分析软件支持以下检验标准:内置国内外通用的标准,含国标(GB) 、ISO(国际) 、BS(英制) 、美标、DIN(德标) 、JIS(日标)共13份。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
 
国产高性能激光干涉仪(SJ6000数据库内置标准:
序号 标准号 标准名称
1 GB 17421-2000 中国国家标准
2 GB 10931-89 中国国家标准
3 ISO230-1997 1997版国际标准
4 ISO230-2006 2006版国际标准
5 ISO230-2014 2014版国际标准
6 ANSI B5.54 美国国家标准
7 ASME B89.1.12M 美国机械工程师协会标准
8 NMTBA 美国机床协会标准
9 BS 3800 英国机床标准
10 BS 4656 英国三测机标准
11 JIS B6330 日本国家标准
12 VDI 3441 德国机床标准
13 JJG 117-2005 平板检定规程
 
 
高性能激光干涉仪(SJ6000)技术指标:
系统性能
测量方式:单频
稳频精度:±0.05ppm
动态采集频率:50 kHz
预热时间:约8分钟
工作温度范围:(0~40)℃
存储温度范围:(-20~70)℃
环境湿度:(0~95)%RH
环境补偿示值误差
空气温度传感器:±0.1℃(0~40)℃,分辨力0.01℃
材料温度传感器:±0.1℃(0~55)℃,分辨力0.01℃
空气湿度传感器:±5%RH  (0~95) %RH
大气压力传感器:±0.1kPa  (65~115)kPa
线性测量
测量距离:(0~80)m
测量精度:±0.5ppm (0~40)℃
测量分辨力:1nm
测量*大速度:4m/s
角度测量
轴向量程:(0~15)m
测量范围:±10°
测量精度:±(0.02%R+0.1+0.25M) ″(R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)
测量分辨力:0.1″
平面度测量
轴向量程:(0~15)m
测量范围:±1.5 mm
测量精度:±(0.2%R+0.02M2) μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
基板尺寸:180mm可调,360mm可调
测量分辨力:0.1μm
直线度测量
  轴向量程 测量范围 测量精度 分辨力
短距离 (0.1~4.0)m ±3mm ±(0.5+0.1%R+0.1M2) μm 0.01μm
长距离 (1.0~30.0)m ±3mm ±(5.0+2.0%R+0.05M2) μm 0.1μm
注:R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m
垂直度测量
  轴向量程 测量范围 测量精度 分辨力
短距离 (0.1~3.0)m ±3mm ±(0.5+0.1%R+0.2M)″ 0.01μm
长距离 (1.0~20.0)m ±3mm ±(0.5+0.5%R+0.04M)″ 0.1μm
注:R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m
精密转台
型号:WR50
角度测量范围:(0~360)°
测量精度:±1″
分辨力:0.1″
*高转速:10rpm
重量:2.1kg
供电:锂电池
通信:蓝牙传输
触发盒
型号:CT70
供电:DC 12V
信号输入:差分TTL(RS422)正交编码信号、10uApp微电流信号
输出形式:10us脉冲
触发延时:0.1us
尺寸重量与供电
便携箱尺寸:外尺寸:613mm×460mm×230mm
线性配置重量:18Kg
供电电源:(100~240)VAC
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企业信息
深圳市中图仪器股份有限公司
认证情况:未认证
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联系人:罗健
联系电话:0755-83318988-202
传真:0755-83312849
联系邮箱:sales@chotest.com
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