供应进口爱德华iH80干式泵维修及螺杆泵保养 iH80 干式泵 爱德华iH80干式泵维修及螺杆泵保养 维修销售热线：13642840900（陶先生） 东莞市品雅真空设备有限公司专业维修各大品牌干式螺杆泵。 概述 Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。 iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。 应用 负载锁 输送 计量 平版印刷 PVD 制程 PVD 预清洁 RTA 剥离/灰化 刻蚀 植入源 HDP CVD RTP SACVD MCVD PECVD LPCVD ALD 功能和优势 优化了设施消耗。 无需预防性维护。 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。 在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。 整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。 东莞市品雅真空设备有限公司http://www.puxupin.com/ 联系人陶先生13642840900 QQ629749083