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白光干涉仪粗糙度仪
发布时间:2023-11-01 16:11:04    浏览量:654次
单价:0 元/台
最小起订:1 台
最大供货:99 台
型号:SuperViewW1
发货期限:待商议
详细信息

白光干涉仪粗糙度仪以白光干涉技术原理,对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

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技术指标

 

型号

W1

光源 白光LED
影像系统 1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×、0.75×、1×

标准视场 0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×)

 

XY位移平台

尺寸 320×200㎜
移动范围 140×100㎜
负载 10kg
控制方式 电动
Z轴聚焦 行程 100㎜
控制方式 电动
形貌重复性 0.1nm
粗糙度RMS重复性 0.005nm
台阶测量

准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ)

可测样品反射率 0.05%~100%
主机尺寸 700×606×920㎜

 

中图仪器SuperViewW1白光干涉仪粗糙度仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

 

产品功能

1)SuperViewW1白光干涉仪粗糙度仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

大尺寸样品_拼接测量.jpg

大尺寸样品_拼接测量

 

应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。

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粗糙度分析操作步骤:

1. 将样品放置在夹具上,确保样品状态稳定;

2. 将夹具放置在载物台上;

3. 检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态;

4. 使用操纵杆调节三轴位置,将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹;

5. 完成扫描设置和命名等操作;

6. 点击开始测量(进入3D视图窗口旋转调整观察一会);

7. 进入数据处理界面,点击“去除外形",采用默认参数,点击应用获取样品表面粗糙度轮廓;

8. 进入分析工具模块,点击参数分析,直接获取面粗糙度数据,点击右侧参数标准可更换参数标准,增删参数类型;

9. 如果想获取线粗糙度数据,则需提取剖面线;

10. 进入数据处理界面,点击“提取剖面"图标,选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取;

11. 进入分析工具界面,点击“参数分析"图标,点击右侧参数标准,勾选所需线粗糙度相关参数,即可获取线粗糙度Ra数据。

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企业信息
深圳市中图仪器股份有限公司
认证情况:未认证
发布者ID:szzhongtu5
联系人:罗健
联系电话:0755-83318988-202
传真:0755-83312849
联系邮箱:sales@chotest.com
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