等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
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(1)电场＋电子→高能电子
(2)高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4)活性基团＋活性基团→生成物+热
低温等离子体去除污染物的原理：
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优势的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。橡胶废气净化，废气净化装置，处理橡胶废气设备，工业废气净化。
低温等离子体技术在环境工程中的应用：
低温等离子体技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生极大的危害；另外工业烟气的无控制排放使全球性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害引起了各国的重视。