一、 主要用途： 本设备用于真空器件的排气处理。
二、主要技术指标：
1、内真空极限真空度：7×10-7Pa 显示为数显真空仪。
2、外真空极限真空度：7 Pa 显示为真空机械表。
3、大工件中心工位工件尺寸：Φ450×750mm，排气口为：Φ40×Φ16×Φ12mm排气口一个。
4、小工件三个工位工件尺寸：Φ150×300mm，排气口为：Φ20×Φ10×Φ8mm。
5、钟罩升起后不转位。
6、加热温度：600℃
7、排气速度：2000L/S
8、灯丝电源：AC0～30V可调电流（1A、5A、10A、25A、50A）分档显示。
9、阳极电源DC 0～1500V可调电流（10mA、50mA、100mA、500mA、1000mA、2000mA）分档显示。
10、管子泵电源 DC 0～5KV可调电流（200μA、500μA、1000μA、1500μA、2000μA）分档显示。

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